复合蓝色水晶衬底基片

专利权的终止

摘要

本实用新型涉及蓝水晶衬底，尤其涉及一种复合蓝水晶衬底基片及其制备方法。复合蓝色水晶衬底基片，包括蓝色水晶晶片(α－SiO₂)，在蓝色水晶晶片(α－SiO₂)表面复合设有一层硅酸锂(γ－Li₂SiO₂)。本实用新型是利用气相传输平衡方法制备而成的，该复合蓝色水晶衬底基片(Li₂SiO₂/α－SiO₂)，克服了传统的蓝宝石衬底基片(Li₂AlO₂/α－Al₂O₃)价格高，硬度高，不易加工等缺点，划片的成品率在90％左右。

基本信息

专利标题：

复合蓝色水晶衬底基片

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN200820082007.2

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2008-01-04

授权号：

CN201160081Y

授权日：

2008-12-03

发明人：

王元成王丽娜

申请人：

王元成

申请人地址：

322200浙江省浦江县经济开发区星碧大道88号

代理机构：

杭州丰禾专利事务所有限公司

代理人：

王晓峰

优先权：

CN200820082007.2

主分类号：

H01L33/00

IPC分类号：

H01L33/00