一种蓝宝石复合衬底
授权
摘要
本实用新型公开了一种蓝宝石复合衬底，包括减薄蓝宝石衬底、设于减薄蓝宝石衬底正面的缺陷阻挡层、防止减薄蓝宝石衬底弯曲的增厚层、以及将增厚层粘接在减薄蓝宝石衬底背面的粘接层；所述缺陷阻挡层设有若干个开孔，所述缺陷阻挡层由透明不导电材料制成，所述透明不导电材料的晶格与外延层的晶格相配，所述增厚层由导热材料制成。本实用新型在减薄蓝宝石衬底上形成设有若干个开孔的缺陷阻挡层，有效减少氮化镓外延材料的位错密度，减少晶格缺陷；在减薄蓝宝石衬底的背面形成增厚层，可以减少衬底发生翘曲。
基本信息
专利标题 ：
一种蓝宝石复合衬底
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021009022.1
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-06-04
授权号 ：
CN212161848U
授权日 ：
2020-12-15
发明人 ：
余金隆庄家铭
申请人 ：
佛山市国星半导体技术有限公司
申请人地址 ：
广东省佛山市南海区狮山镇罗村朗沙广东新光源产业基地内光明大道18号
代理机构 ：
广州三环专利商标代理有限公司
代理人 ：
胡枫
优先权 ：
CN202021009022.1
主分类号 ：
H01L33/44
IPC分类号 ：
H01L33/44 H01L33/46 H01L33/64 H01L33/00
法律状态
2020-12-15 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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