一种蓝宝石衬底的回收方法
实质审查的生效
摘要
本发明公开了一种蓝宝石衬底的回收方法，适用于平片或图形化蓝宝石衬底，采用多次药液刻蚀及高温烘烤的方法，对氮化镓相关外延材料进行去除，包括以下步骤：1)第一次碱液A刻蚀氮化镓基LED外延片；2)第一次高温烘烤LED外延片；3)第二次碱液A刻蚀LED外延片；4)第二次高温烘烤LED外延片；5)第三次碱液A刻蚀LED外延片；6)第一次SPM酸碱清洗；7)磷酸药液刻蚀；8)第二次SPM酸碱清洗。本发明方法回收得到的蓝宝石衬底表面洁净且无损伤；使其可以重新再利用，从而降低LED外延片的生产成本。
基本信息
专利标题 ：
一种蓝宝石衬底的回收方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114373836A
申请号 ：
CN202111640178.9
公开（公告）日 ：
2022-04-19
申请日 ：
2021-12-29
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
刘宝琴朱剑峰陈淼清徐扣琴张蔚
申请人 ：
南通同方半导体有限公司
申请人地址 ：
江苏省南通市经济开发区东方大道499号
代理机构 ：
南京华恒专利代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
宋方园
优先权 ：
CN202111640178.9
主分类号 ：
H01L33/00
IPC分类号 ：
H01L33/00
法律状态
2022-05-06 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : H01L 33/00
申请日 : 20211229
申请日 : 20211229
2022-04-19 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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