光路结构和蓝宝石衬底激光剥离设备

授权

摘要

本实用新型属于激光剥离设备技术领域，尤其涉及一种光路结构和蓝宝石衬底激光剥离设备，包括激光器、光路、振镜和连接于该振镜下方的场镜；光路包括光路框架；激光器和振镜分别位于光路框架的两侧并与光路框架连通；光路框架内依次设有多个反射部件、扩束镜和整形镜，激光器发出的激光束经过反射部件反射引导，使激光束依次穿过扩束镜、整形镜、振镜和场镜，从而使得激光束从场镜射出；由于整形镜和场镜均能对激光束进行聚焦，使得激光束的聚焦焦深长达1000～1200μm，对于蓝宝石基板上有翘曲的晶圆，在一定范围内也可保证激光束具有很稳定的剥离效果，使蓝宝石衬底剥离完全，从而使得剥离蓝宝石衬底的效果好。

基本信息

专利标题：

光路结构和蓝宝石衬底激光剥离设备

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN202021997509.5

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2020-09-11

授权号：

CN213257740U

授权日：

2021-05-25

发明人：

刘雷

申请人：

刘雷

申请人地址：

湖南省益阳市安化县仙溪镇仙峰村月形村民组

代理机构：

东莞市科凯伟成知识产权代理有限公司

代理人：

刘晓峰

优先权：

CN202021997509.5

主分类号：

B23K26/50

IPC分类号：

B23K26/50 B23K26/073 B23K26/064 B23K26/57 H01L21/67 H01L33/00