蓝宝石衬底激光剥离设备

授权

摘要

本实用新型属于激光剥离设备技术领域，尤其涉及一种蓝宝石衬底激光剥离设备，包括机架，以及均安装于所述机架上的加工台、供料机构、移载机构和激光剥离机构；所述供料机构设于所述移载机构的一侧并用于提供蓝宝石基板，所述移载机构设于所述加工台的一侧并用于将所述供料机构上的蓝宝石基板移载于所述加工台，所述激光剥离机构设有于所述加工台的上方并用于发射激光束穿透位于所述加工台上的蓝宝石基板；因此，本实用新型所述的蓝宝石衬底激光剥离设备位自动化加工，生产效率高，同时节省人力成本，降低加工成本。

基本信息

专利标题：

蓝宝石衬底激光剥离设备

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN202021992144.7

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2020-09-11

授权号：

CN212695168U

授权日：

2021-03-12

发明人：

刘雷

申请人：

刘雷

申请人地址：

湖南省益阳市安化县仙溪镇仙峰村月形村民组

代理机构：

东莞市科凯伟成知识产权代理有限公司

代理人：

刘晓峰

优先权：

CN202021992144.7

主分类号：

H01L33/00

IPC分类号：

H01L33/00 H01L21/67 H01L27/15 B23K26/57