蓝宝石衬底切割片再生加工装置

专利申请权、专利权的转移

摘要

本实用新型提供的一种蓝宝石衬底切割片再生加工装置，涉及半导体技术领域，包括：用于对衬底切割片的单面进行固定的万向平台；研磨砂轮，所述研磨砂轮设置在所述万向平台的上方，用于对所述衬底切割片另一面上具有厚度差异、表面晶体轴向偏轴的部位进行研磨修整。在上述技术方案中，搭配万向平台和研磨砂轮，可以修复切割衬底时由于金刚石线端跳、定角时角度定错等问题而造成的厚度差异过大、表面晶体轴向偏轴的缺陷，使缺陷衬底切割片经过研磨修整后能够重复使用。

基本信息

专利标题：

蓝宝石衬底切割片再生加工装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201921292642.8

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-08-09

授权号：

CN210633471U

授权日：

2020-05-29

发明人：

徐良蓝文安占俊杰阳明益刘建哲余雅俊

申请人：

浙江博蓝特半导体科技股份有限公司

申请人地址：

浙江省金华市南二环西路2688号

代理机构：

北京辰权知识产权代理有限公司

代理人：

董李欣

优先权：

CN201921292642.8

主分类号：

B24B37/10

IPC分类号：

B24B37/10 B24B37/30 B24B37/34 B24B49/12 H01L21/67