一种蓝宝石衬底清洗用快速旋干喷淋装置，包括旋转载台、旋干机外壁、旋干腔体，旋干腔体以旋转载台的圆心为中心布置，旋干腔体内设有晶舟盒，晶舟盒内由上至下设有晶圆，旋干腔体内设有用于限位晶圆位置的固定柱；还包括设置在旋转载台上的喷淋柱，喷淋柱上设有除静电头和喷头二，喷淋柱安装在旋干腔体内，位于固定柱两侧，喷淋柱的底端接有管路，连通管路的一端与气源、溶液源和除静电发生器连接，喷淋柱表面面向晶圆方向设有除静电头和若干喷头二，除静电头位于喷淋柱中间，喷头二等间距排列在表面，喷淋柱的安装高度应高于固定杆的高度。该装置有利于蓝宝石衬底表面的充分清洁烘干，干燥更快节省时间，提高了工作效率与产品良率。