一种在蓝宝石衬底铜抛后清洗的方法
实质审查的生效
摘要
本发明涉及一种在蓝宝石衬底铜抛后清洗的方法，该方法采用磺酸微腐蚀、纳米除油乳化剂乳化和超声波清洗相结合，有效清除了蓝宝石衬底上的黏附颗粒、有机物、金属污染物，以及特别是公认的难以清除的顽强氧化物，从而提高了蓝宝石衬底的稳定性，为蓝宝石衬底下一步工艺奠定了基础。
基本信息
专利标题 ：
一种在蓝宝石衬底铜抛后清洗的方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114425534A
申请号 ：
CN202111518270.8
公开（公告）日 ：
2022-05-03
申请日 ：
2021-12-13
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
徐良余雅俊占俊杰陈素春孟秀清阳明益童雪峰
申请人 ：
金华博蓝特新材料有限公司
申请人地址 ：
浙江省金华市婺城区秋滨街道南二环西路2688号1#厂房1楼南侧
代理机构 ：
北京辰权知识产权代理有限公司
代理人 ：
张晓玲
优先权 ：
CN202111518270.8
主分类号 ：
B08B3/08
IPC分类号 ：
B08B3/08 C11D1/22 C11D1/14 C11D3/20 C11D3/22 C11D3/36 C11D3/60 H01L21/02
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B08
清洁
B08B
一般清洁；一般污垢的防除
B08B3/00
使用液体或蒸气的清洁方法
B08B3/04
与液体接触的清洁
B08B3/08
具有化学作用或溶解作用的液体
法律状态
2022-05-20 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : B08B 3/08
申请日 : 20211213
申请日 : 20211213
2022-05-03 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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