本实用新型涉及一种用于蓝宝石衬底片背面缺陷再生处理的喷砂装置，包括再生处理工作箱、衬底置放平台、高压喷砂枪、研磨砂储放箱和研磨砂回收箱，衬底置放平台位于再生处理工作箱内，高压喷砂枪的枪头伸入所述再生处理工作箱内，高压喷砂枪的枪头与衬底置放平台之间可相对移动，研磨砂回收箱与再生处理工作箱相连通。本实用新型能够达到蓝宝石衬底片再生处理的对背面粗糙度的均匀性要求，并能提供晶圆再生的良率。