一种用于衬底基片的高纯度石墨基座

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摘要

本实用新型公开了一种用于衬底基片的高纯度石墨基座，包括石墨基座本体、置物槽、定型环以及卡接块，所述石墨基座本体中心处贯穿设有穿孔，围绕穿孔外侧均匀排列有若干个置物槽，置物槽位于石墨基座本体的上表面，所述置物槽内侧壁安装有与其相匹配的定型环，本实用新型在使用石墨基座本体时，通过设置的定型环，可根据不同规格的衬底基片设置有内环直径不同的定型环，与相应的衬底基片配合使用，有利于人们放置不同规格的衬底基片，对衬底基片进行固定，避免石墨基座本体移动时，衬底基片滑出置物槽，使用定型环时，将其放置在置物槽中，同时将卡接块插入卡接槽中，进行固定定型环。

基本信息

专利标题：

一种用于衬底基片的高纯度石墨基座

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201922119348.3

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-11-27

授权号：

CN211256151U

授权日：

2020-08-14

发明人：

余波郑方渊张华冯晓倩

申请人：

上海弘竣新能源材料有限公司

申请人地址：

上海市青浦区华新镇华腾路1288号1幢4层I区438室

代理机构：

代理人：

优先权：

CN201922119348.3

主分类号：

C30B25/12

IPC分类号：

C30B25/12