一种光电导型冷阴极平板X射线探测器及其制备方法和应用
授权
摘要
本发明公开了一种光电导型冷阴极平板X射线探测器及其制备方法和应用,所述X射线探测器包括阳极基板和冷阴极基板,所述阳极基板包括阳极衬底、制备在阳极衬底上的阳极电极、制备在阳极电极上的半导体层;所述冷阴极基板包括冷阴极衬底、制备在冷阴极衬底上的冷阴极电极、制备在冷阴极电极上的光电导体、制备在光电导体上的冷阴极发射体;所述半导体层和所述光电导体通过隔离体相互绝缘地固定在一起,所述阳极基板上的半导体层与所述冷阴极发射体相对。本发明通过在阳极基板上设置半导体层、冷阴极基板上设置光电导体,降低了X射线探测器的暗电流,提高了X射线探测器的灵敏度。
基本信息
专利标题 :
一种光电导型冷阴极平板X射线探测器及其制备方法和应用
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN113471052A
申请号 :
CN202110729927.9
公开(公告)日 :
2021-10-01
申请日 :
2021-06-29
授权号 :
CN113471052B
授权日 :
2022-04-05
发明人 :
陈军张志鹏邓少芝许宁生
申请人 :
中山大学
申请人地址 :
广东省广州市海珠区新港西路135号
代理机构 :
广州粤高专利商标代理有限公司
代理人 :
陈嘉毅
优先权 :
CN202110729927.9
主分类号 :
H01J40/06
IPC分类号 :
H01J40/06 H01J40/16 H01L31/118 H01L31/18 H01L27/146
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01J
放电管或放电灯
H01J40/00
不包含气体电离的放电管
H01J40/02
零部件
H01J40/04
电极
H01J40/06
光电发射阴极
法律状态
2022-04-05 :
授权
2021-10-26 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : H01J 40/06
申请日 : 20210629
申请日 : 20210629
2021-10-01 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载