基于MEMS气体传感器阵列的多气体检测方法及系统

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摘要

本发明公开了一种MEMS气体传感器阵列的多气体检测方法及系统，其方法包括：构建预设MEMS气体传感器阵列的气体传感器网络，通过所述气体传感器网络接收预设MEMS气体传感器阵列中每个第一气体传感器在目标环境内的检测数据，根据检测数据确定目标环境内的第一气体成分以及各气体浓度，采集目标环境内的气体存储到预设容器中，利用预设MEMS气体传感器阵列中的第二气体传感器对预设容器中的存储气体进行光线吸收测试，获取测试结果，根据所述测试结果确定目标环境内的第二气体成分以及各气体浓度，根据第一和第二气体成分以及各气体浓度综合获得目标环境内的目标气体成分以及各气体浓度。提高了最终检测结果的准确性。

基本信息

专利标题：

基于MEMS气体传感器阵列的多气体检测方法及系统

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

CN113607674A

申请号：

CN202110733541.5

公开（公告）日：

2021-11-05

申请日：

2021-06-30

授权号：

CN113607674B

授权日：

2022-05-17

发明人：

汪民许玉方

申请人：

广州德芯半导体科技有限公司

申请人地址：

广东省广州市番禺区石基镇金山村华创动漫产业园B25栋第三层之二

代理机构：

北京广技专利代理事务所(特殊普通合伙)

代理人：

张国香

优先权：

CN202110733541.5

主分类号：

G01N21/3504

IPC分类号：

G01N21/3504 G01N33/00 B81B7/02