一种基于氧化锌薄膜的可见光吸收型氢气传感器件
公开
摘要
本发明设计一种基于氧化锌薄膜的可见光吸收型氢气传感器件，是利用基于超材料（Meta‑materials）的完美吸收体器件，通过电子束曝光（EBL）和物理气相沉积等工艺沉积Pd、Pt等对氢气具有特异性吸附的贵金属材料作为氢敏光栅，可根据吸收体对指定波长入射光吸收特性在含氢气氛中的变化实现氢气浓度检测。包括：制备衬底、制备金属基底层和超材料介质层、旋涂光刻胶、画光栅结构图形、生成光刻图案样品、制备样品等步骤。所制备的光学型氢气传感器件可实现对特定入射光的高效吸收，实现了在可见光频段内对氢气浓度的检测，能够在不同温下直接进行检测，受环境因素的影响较小。体积小、工艺简单，成本低廉，易于集成和大规模化生产，制作过程无污染。
基本信息
专利标题 ：
一种基于氧化锌薄膜的可见光吸收型氢气传感器件
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114371197A
申请号 ：
CN202111361370.4
公开（公告）日 ：
2022-04-19
申请日 ：
2021-11-17
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
王钊杨辉杨树林顾豪爽
申请人 ：
湖北大学
申请人地址 ：
湖北省武汉市武昌区友谊大道368号
代理机构 ：
武汉帅丞知识产权代理有限公司
代理人 ：
朱必武
优先权 ：
CN202111361370.4
主分类号 ：
G01N27/12
IPC分类号 ：
G01N27/12
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01N
借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料
G01N27/00
用电、电化学或磁的方法测试或分析材料
G01N27/02
通过测试阻抗
G01N27/04
通过测试电阻
G01N27/12
与流体的吸收有关的固体的电阻，依赖于与流体发生反应的固体的电阻
法律状态
2022-04-19 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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