光-热转换吸收薄膜及制备
专利权的终止未缴年费专利权终止
摘要
本发明涉及的是一种采用三极磁控溅射离子镀膜技术单靶金属钛(或铝)在氩气和氮气中反应溅射沉积到光亮处理过的金属基体上的氮化钛(或铝)太阳能选择性吸收薄膜,基体加热到一定温度加负偏压,在增强离化电极作用下,溅射钛(或铝)原子与氮气流量逐渐增加反应沉积生成氮化钛(或铝)渐变吸收膜层。由它与基体构成的太阳能选择性吸收膜层,其吸收率α=0.85-0.95,红外发射率ε=0.6-0.15,具有膜层结构致密、良好的抗磨和抗腐蚀性能等优点。是太阳能热管式真空管集热器的吸热板芯和密封性能良好的平板集热器吸热板用的选择性吸热薄膜材料。
基本信息
专利标题 :
光-热转换吸收薄膜及制备
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN1056158A
申请号 :
CN91103765.9
公开(公告)日 :
1991-11-13
申请日 :
1991-06-18
授权号 :
CN1020797C
授权日 :
1993-05-19
发明人 :
郭信章尹万里于凤勤
申请人 :
北京市太阳能研究所
申请人地址 :
100083北京市海淀区花园路3号
代理机构 :
北京市科技专利事务所
代理人 :
谢小延
优先权 :
CN91103765.9
主分类号 :
F24J2/48
IPC分类号 :
F24J2/48 C23C14/16 C23C14/35
IPC结构图谱
F
F部——机械工程;照明;加热;武器;爆破
F24
供热;炉灶;通风
F24J
不包含在其他类目中的热量产生和利用
F24J
不包含在其他类目中的热量产生和利用
F24J2/00
太阳热的利用,例如太阳能集热器
F24J2/46
太阳能集热器的构件、零部件或附件
F24J2/48
以吸收器材料为特征的
法律状态
2004-08-18 :
专利权的终止未缴年费专利权终止
2002-06-12 :
其他有关事项
1993-05-19 :
授权
1991-11-13 :
公开
1991-10-23 :
实质审查请求已生效的专利申请
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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