压力传感阵列及其制备方法
公开
摘要
本发明涉及传感技术领域，尤其涉及一种压力传感阵列及其制备方法。所述压力传感阵列包括：传感区，包括薄膜晶体管阵列、位于所述薄膜晶体管阵列表面的压敏薄膜、位于所述压敏薄膜表面的顶电极、以及位于所述薄膜晶体管阵列中间区域的行驱动信号电路，所述薄膜晶体管阵列包括呈阵列排布的多个薄膜晶体管，所述行驱动信号电路用于向所述薄膜晶体管传输行驱动信号；引脚区，位于所述传感区的外部，所述行驱动信号电路自所述薄膜晶体管阵列的中间区域引出至所述引脚区。本发明提供的压力传感阵列实现按需裁剪的个性化应用，并提高传感阵列的面积利用率和抗干扰性。
基本信息
专利标题 ：
压力传感阵列及其制备方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114577376A
申请号 ：
CN202111413862.3
公开（公告）日 ：
2022-06-03
申请日 ：
2021-11-25
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
郭小军陈苏杰李骏
申请人 ：
上海交通大学
申请人地址 ：
上海市徐汇区华山路1954号
代理机构 ：
上海盈盛知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
孙佳胤
优先权 ：
CN202111413862.3
主分类号 ：
G01L1/20
IPC分类号 ：
G01L1/20 G01L1/14 H01L27/12 H01L21/77
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01L
测量力、应力、转矩、功、机械功率、机械效率或流体压力
G01L1/00
力或应力的一般计量
G01L1/20
通过测量固体材料或导电流体欧姆电阻变化；应用动力电池，即施加应力后会产生或改变其电位的液体电池
法律状态
2022-06-03 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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