本发明公开了一种煤焦油基薄膜电子器件及其制备方法，其中，该方法包括：将煤焦油与有机溶剂混合，得到煤焦油溶液；将煤焦油溶液施加在第一基底上形成煤焦油薄膜；将煤焦油薄膜加热氧化；对氧化后煤焦油薄膜的上层区域进行激光打印形成图案，同时打印区域碳化；去除薄膜上的未碳化区域，得到具有图案的碳化层，其中，未碳化区域包括氧化后煤焦油薄膜上未进行激光打印的区域和氧化后煤焦油薄膜上进行激光打印的下层区域；将具有图案的碳化层转移至第二基底上，得到煤焦油基薄膜电子器件。该方法将煤焦油作为原料直接加工薄膜电子器件，提高了煤焦油产品的附加值，生产流程符合绿色生产的概念，且制得的煤焦油基薄膜电子器件具有良好的电学性能。