本发明涉及一种金刚石粒子探测器电极结构的制备方法，包括如下步骤：S1、在单晶金刚石上制作周期性凹槽结构，各凹槽对应平行；S2、将制备的单晶金刚石进行清洗；S3、首先将铝沉积在凹槽的内壁四侧及底部，然后将金沉积在铝未填满的凹槽内部，最后将铬覆盖在铝和金的上方表面，得到平面电极；S4、在单晶金刚石上沉积出指交叉电极和正、负金属电极，平面电极通过指交叉电极分别与正、负金属电极连接。本发明在单晶金刚石晶片内引入平面电极，实现金刚石内部电离的电子‑空穴对的高效快速收集，提高探测器的响应度和灵敏度；采用铝、金两层金属作电极，起到良好的欧姆接触的作用，而上方的铬可以防止金属电极氧化，增加器件的使用寿命。