一种金刚石粒子探测器电极结构及其制备方法
实质审查的生效
摘要
本发明涉及一种金刚石粒子探测器电极结构的制备方法,包括如下步骤:S1、在单晶金刚石上制作周期性凹槽结构,各凹槽对应平行;S2、将制备的单晶金刚石进行清洗;S3、首先将铝沉积在凹槽的内壁四侧及底部,然后将金沉积在铝未填满的凹槽内部,最后将铬覆盖在铝和金的上方表面,得到平面电极;S4、在单晶金刚石上沉积出指交叉电极和正、负金属电极,平面电极通过指交叉电极分别与正、负金属电极连接。本发明在单晶金刚石晶片内引入平面电极,实现金刚石内部电离的电子‑空穴对的高效快速收集,提高探测器的响应度和灵敏度;采用铝、金两层金属作电极,起到良好的欧姆接触的作用,而上方的铬可以防止金属电极氧化,增加器件的使用寿命。
基本信息
专利标题 :
一种金刚石粒子探测器电极结构及其制备方法
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114335238A
申请号 :
CN202111458025.2
公开(公告)日 :
2022-04-12
申请日 :
2021-12-02
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
彭国令苗建国曹光宇冯文强范旅龙
申请人 :
长沙新材料产业研究院有限公司
申请人地址 :
湖南省长沙市岳麓区枫林三路217号航天大院内15号办公室
代理机构 :
武汉智汇为专利代理事务所(普通合伙)
代理人 :
李恭渝
优先权 :
CN202111458025.2
主分类号 :
H01L31/18
IPC分类号 :
H01L31/18 H01L31/0224 H01L31/115
法律状态
2022-04-29 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : H01L 31/18
申请日 : 20211202
申请日 : 20211202
2022-04-12 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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