一种基于范德华金属电极的自驱动超快光电探测器构筑方法
实质审查的生效
摘要
一种基于范德华金属电极的自驱动超快光电探测器构筑方法，涉及微电子异质结光电探测器件应用领域。采用机械剥离的方法剥离二维金属材料(Fe3GeTe2、Graphene)，叠层过渡族金属硫化物WSe2，形成Fe3GeTe2‑WSe2‑Graphene异质结。在此结构中不同范德华金属电极与沟道材料WSe2的接触长度存在差异，形成非对称的几何接触形状，获得不同的肖特基势垒高度，从而形成有效的结区内部电场，产生自驱动电流。此光电探测器具有结构简单、暗电流几乎为零、响应度高、响应速率快、灵敏度高等特点。Fe3GeTe2‑WSe2‑Graphene异质结可以拓展于二维材料相关的微电子器件及光电探测器领域的应用。
基本信息
专利标题 ：
一种基于范德华金属电极的自驱动超快光电探测器构筑方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114361289A
申请号 ：
CN202210023809.0
公开（公告）日 ：
2022-04-15
申请日 ：
2022-01-10
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
刘丹敏徐国梁
申请人 ：
北京工业大学
申请人地址 ：
北京市朝阳区平乐园100号
代理机构 ：
北京思海天达知识产权代理有限公司
代理人 ：
刘萍
优先权 ：
CN202210023809.0
主分类号 ：
H01L31/113
IPC分类号 ：
H01L31/113 H01L31/032 H01L31/18
法律状态
2022-05-03 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : H01L 31/113
申请日 : 20220110
申请日 : 20220110
2022-04-15 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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