一种基于强化学习的阻抗匹配自动控制方法及系统
实质审查的生效
摘要
本发明公开了一种基于强化学习的阻抗匹配自动控制方法及系统，其中，控制方法包括：电信号收集步骤，电信号判断步骤，模型输出步骤和阻抗调节步骤。本发明使用多个固定负载训练强化学习模型，训练后的模型适应性极强，在不同的电路状态下均能实现阻抗匹配；本发明仅通过采集并计算传输线上两个电信号之间的幅度比和相位差，依靠训练好的强化学习模型就能使等离子刻蚀系统一直处于阻抗匹配状态；本发明能控制2个电机同时转动，即同时改变2个电容的阻抗，使等离子刻蚀系统更快达到阻抗匹配状态。
基本信息
专利标题 ：
一种基于强化学习的阻抗匹配自动控制方法及系统
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114330739A
申请号 ：
CN202111462503.7
公开（公告）日 ：
2022-04-12
申请日 ：
2021-12-02
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
易俊殷晓君雷力胡海
申请人 ：
武汉光目科技有限公司
申请人地址 ：
湖北省武汉市东湖高新技术开发区关东科技工业园3-3栋4楼17号-01
代理机构 ：
武汉华之喻知识产权代理有限公司
代理人 ：
廖盈春
优先权 ：
CN202111462503.7
主分类号 ：
G06N20/00
IPC分类号 ：
G06N20/00 G06K9/62 H01J37/32
IPC结构图谱
G
G部——物理
G06
计算；推算或计数
G06N
基于特定计算模型的计算机系统
G06N20/00
机器学习
法律状态
2022-04-29 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : G06N 20/00
申请日 : 20211202
申请日 : 20211202
2022-04-12 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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