本发明公开了一种等离子体与外电路的阻抗匹配方法及系统，该方法包括：确定阻抗匹配电路，给阻抗匹配网络的元件设定初始参数；对阻抗匹配电路进行放电模拟，对等离子体负载两端的电压波形和流过等离子体负载的电流波形分别做傅里叶变换，计算等离子体负载的阻抗；计算阻抗匹配网络的输入阻抗；计算阻抗匹配网络的反射系数，当反射系数小于等于设定阈值时，结束迭代；当反射系数大于设定阈值时，令射频电源的输出阻抗与阻抗匹配网络的输入阻抗相等，计算并更新阻抗匹配网络的参数值后，重新模拟放电并计算发射系数直至反射系数满足要求。本申请基于数值模拟的方法使等离子体设备实现阻抗匹配，能够使匹配快速达到最佳，并且结果准确可靠。