本申请提供了一种蚀刻液及其制备方法、金属膜材的处理方法。所述蚀刻液含有以下重量份数的各组分：50‑80份的磷酸，1‑10份的硝酸，10‑30份的醋酸，0.01‑1份的金属缓蚀剂，0.01‑1份的表面活性剂，余量为水；所述表面活性剂包括壬基酚聚氧乙烯醚和脂肪醇聚氧乙烯醚硫酸盐；所述金属缓蚀剂包括醋酸钾、磺化木质素、膦羧酸、琉基苯并噻唑中的至少一种。该蚀刻液可控性强、蚀刻均匀性好、蚀刻角度平滑、精度高，能在短时间内完成材料的蚀刻，蚀刻后金属膜材的关键尺寸损失小于0.5μm，蚀刻角度小于60°，玻璃面板表面无残留。并且可以同时满足铝膜、铝合金膜、钼膜、钼合金膜，以及不同厚度叠加的钼‑铝叠层膜、铝‑钼‑铝叠层膜和钼‑铝‑钼叠层膜的蚀刻要求。