本实用新型公开了一种溅射金属膜机台，为了利用现有溅射金属膜机台进行生成TiN的工艺反应，该机台包括：腔体11，腔体11外接用于引入氩气气体的管路12和用于引入去除腔体真空的氮气气体的管路13，管路12上串接开关121，管路13上串接开关132，管路13的靠近腔体部分131一端与腔体11相连，另一端通过三通接头14连接管路13的远离腔体部分133和用于引入用于反应的氮气气体的管路15，管路15上串接开关151，开关121和开关151与联动机构16相连，开关132串接于管路13的远离腔体部分133，由于新增管路15，使得改造后的溅射金属膜机台能够接入N2反应气体，并进行生成TiN的工艺反应。