一种用于磁控溅射镀膜设备的传送机台

授权

摘要

本实用新型公开了一种用于磁控溅射镀膜设备的传送机台，包括支撑腿、把手、侧板、防护布、固定条、保护框、活动轴、轴承、连接板、底板、活动滚和传动带，所述侧板共设有两个，且两个侧板的下侧两端均固定有支撑腿，支撑腿共设有四个，四个支撑腿的内侧中间处通过底板相连接，两个所述侧板的下侧两端均通过连接板相连接，且连接板位于支撑腿的外侧，两个所述侧板的中间处均等距固定有轴承，两个侧板之间通过活动轴相连接，且活动轴的两端均位于轴承的内侧，所述活动轴的中间处均套接有活动滚，所述传动带套接在活动滚的外侧，所述侧板一端的活动轴固定有把手，且把手位于侧板的外侧。本实用新型有利于对太阳能板进行均匀镀膜传送的优点。

基本信息

专利标题：

一种用于磁控溅射镀膜设备的传送机台

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN202022045490.0

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2020-09-17

授权号：

CN213327810U

授权日：

2021-06-01

发明人：

李长栋魏承亚魏茂奎

申请人：

山东沐东真空科技有限公司

申请人地址：

山东省聊城市阳谷县博济桥办事处谷山路南段（建委对过）

代理机构：

代理人：

优先权：

CN202022045490.0

主分类号：

C23C14/35

IPC分类号：

C23C14/35