处理蚀刻剂的方法
专利权的终止
摘要
为了保证操作容易、运行费用和设备投资成本降低，并保证在封闭系统中产生的氯气的安全性和有效地使用，提出了一种新颖的处理蚀刻剂的方法。该方法含有下列步骤：①借助一种使用隔膜的电解工艺来处理含有ＣｕＣｌ或同时含有FeCl3和铜的蚀刻剂以提取电沉积在阴极室中的铜，②把在阳极室中产生的氯气供入另一批在蚀刻工艺用过的蚀刻剂中，借此使蚀刻剂再生。
基本信息
专利标题 ：
处理蚀刻剂的方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN1072737A
申请号 ：
CN92112389.2
公开（公告）日 ：
1993-06-02
申请日 ：
1992-10-28
授权号 ：
CN1038950C
授权日 ：
1998-07-01
发明人 ：
三上八州家庵崎雅章柴崎昌夫
申请人 ：
日铁矿业株式会社
申请人地址 ：
日本东京
代理机构 ：
中国专利代理(香港)有限公司
代理人 ：
杨丽琴
优先权 ：
CN92112389.2
主分类号 ：
C23F1/46
IPC分类号 ：
C23F1/46 C23F1/18
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23F
非机械方法去除表面上的金属材料；金属材料的缓蚀；一般防积垢；至少一种在C23大类中所列的方法及至少一种在C21D、C22F小类或者C25大类中所列的方法的多步法金属材料表面处理
C23F1/00
金属材料的化学法蚀刻
C23F1/46
蚀刻组合物的再生
法律状态
2010-12-29 ：
专利权的终止
未缴年费专利权终止号牌文件类型代码 : 1605
号牌文件序号 : 101028282053
IPC(主分类) : C23F 1/46
专利号 : ZL921123892
申请日 : 19921028
授权公告日 : 19980701
终止日期 : 20091130
号牌文件序号 : 101028282053
IPC(主分类) : C23F 1/46
专利号 : ZL921123892
申请日 : 19921028
授权公告日 : 19980701
终止日期 : 20091130
1998-07-01 ：
授权
1995-04-05 ：
实质审查请求的生效
1993-06-02 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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