本发明涉及一种空间电荷注入阈值电场的测量方法及系统，包括：获取金属化处理的试样，在其两端外接初始直流电场；对试样金属化侧施加激光脉冲，采集试样在激光脉冲作用下产生的响应电流；根据响应电流计算得到试样内部近表层的电场强度，若计算的表层电场强度等于外接电场强度，则增大外接直流电场，继续计算试样表层电场强度，否则，将此时外接电场作为试样的空间电荷注入阈值电场。与现有技术相比，本发明利用瞬时热扰动法，根据热扰动下形成的热响应电流计算得到试样内部近表层的电场分布，比较计算的表层电场分布与外接均匀电场，当外接电场与计算的表层电场分布之间存在偏离时，认为此时的外接电场强度达到了试样的空间电荷注入阈值电场。