一种阵列式气体传感器及智能气体检测方法
实质审查的生效
摘要
本发明的目的是提供一种阵列式气体传感器及智能气体检测方法。其制备方法是在传感器衬底上制备出n列×m行，共nm个磁控溅射孔位和电极；采用掩模版B1～掩模版Bn依次覆盖于处理过的传感器衬底上，并依次采用n种溅射材料，通过磁控溅射将n种不同溅射材料分别生长到n列磁控溅射孔位上；再采用掩模版C1～掩模版Cm‑1依次覆盖于处理过的传感器衬底上，并依次采用m‑1种溅射材料，通过磁控溅射分别生长到磁控溅射孔位上，值得具有nm个阵列单元的阵列式气体传感器。
基本信息
专利标题 ：
一种阵列式气体传感器及智能气体检测方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114527173A
申请号 ：
CN202111573969.4
公开（公告）日 ：
2022-05-24
申请日 ：
2021-12-21
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
彭小燕陈家正王顺褚金
申请人 ：
西南大学
申请人地址 ：
重庆市北碚区天生路2号
代理机构 ：
重庆缙云专利代理事务所(特殊普通合伙)
代理人 ：
王翔
优先权 ：
CN202111573969.4
主分类号 ：
G01N27/30
IPC分类号 ：
G01N27/30 G01N27/416 C23C14/04 C23C14/06 C23C14/08 C23C14/35 C23C14/58 G06N20/00
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01N
借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料
G01N27/30
•••电极，例如测试电极；半电池
法律状态
2022-06-10 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : G01N 27/30
申请日 : 20211221
申请日 : 20211221
2022-05-24 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
