一种物理实验用半导体芯片夹取装置
实质审查的生效
摘要
本发明属于芯片夹取技术领域,尤其是一种物理实验用半导体芯片夹取装置,针对背景技术提出的容易损伤半导体芯片,半导体芯片还容易滑落的问题,现提出以下方案,包括管体,所述管体内壁的底部粘接有吸盘,且吸盘内壁的顶部滑动连接有活塞,所述活塞顶部外壁粘接有安装柱,且安装柱和管体之间连接有第一弹簧。本发明通过第一弹簧带动活塞向上移动,使得吸盘中的气压减小,从而产生吸力将半导体芯片吸住,结构稳定,不仅不会损伤半导体芯片,而且半导体芯片还不容易掉落,通过下压压板使得第一弹簧拉伸,为后续第一弹簧的收缩提供了基础,同时当球体位于限位槽内时,可当防止第一弹簧向上收缩,结构合理,操作简单。
基本信息
专利标题 :
一种物理实验用半导体芯片夹取装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114334764A
申请号 :
CN202111576930.8
公开(公告)日 :
2022-04-12
申请日 :
2021-12-22
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
马超丁力勤
申请人 :
北方民族大学
申请人地址 :
宁夏回族自治区银川市西夏区文昌北街204号
代理机构 :
六安市新图匠心专利代理事务所(普通合伙)
代理人 :
王霞
优先权 :
CN202111576930.8
主分类号 :
H01L21/677
IPC分类号 :
H01L21/677 H01L21/683
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21/677
用于传送的,例如在不同的工作站之间
法律状态
2022-04-29 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : H01L 21/677
申请日 : 20211222
申请日 : 20211222
2022-04-12 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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