本发明涉及锂离子电池技术领域，公开了一种高纯六氟磷酸锂的制备方法：1)将五氯化磷与无水氢氟酸或者氟化氢气体进行反应，制备五氟化磷；2)将LiF溶于无水HF溶剂中，再向其中通入所得五氟化磷，反应得到六氟磷酸锂的无水HF溶液；3)将所得六氟磷酸锂的无水HF溶液蒸馏除去氢氟酸，得到固体六氟磷酸锂；4)采用超临界二氧化碳或者液体二氧化碳为溶剂，对六氟磷酸锂固体进行重结晶，得到纯化后的六氟磷酸锂。本发明采用二氧化碳进行重结晶，绿色环保且成本低，生产过程安全，纯化效果好；本发明将步骤2)反应气体进行收集并分离后进行回用，形成一种六氟磷酸锂的全过程清洁生产工艺，整个生产过程绿色环保，废弃物排放少。