薄膜晶体管和显示面板
实质审查的生效
摘要
本申请公开了一种薄膜晶体管和显示面板。所述薄膜晶体管包括：玻璃基板，栅极，设置在所述玻璃基板上；栅绝缘层，设置在所述玻璃基板上，且覆盖所述栅极；氧化物半导体复合膜层，设置在所述栅绝缘层上，且位于所述栅极的上方；源漏极，包括源极和漏极，设置在所述氧化物半导体复合膜层上，且所述源极与所述漏极同层布置；其中，所述氧化物半导体复合膜层包括第一金属氧化物层、第二金属氧化物层和第三金属氧化物层，所述第二金属氧化物层和所述第三金属氧化物层中掺杂钛。本申请的薄膜晶体管可以有效减少半导体膜层中氧空位的生成，以及减少光照对氧化铟镓锌中载流子的浓度的影响，提高器件的稳定性。
基本信息
专利标题 ：
薄膜晶体管和显示面板
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114284363A
申请号 ：
CN202111625183.2
公开（公告）日 ：
2022-04-05
申请日 ：
2021-12-28
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
史文
申请人 ：
广州华星光电半导体显示技术有限公司
申请人地址 ：
广东省广州市黄埔区（中新广州知识城）亿创街1号406房之417
代理机构 ：
深圳紫藤知识产权代理有限公司
代理人 ：
王朝云
优先权 ：
CN202111625183.2
主分类号 ：
H01L29/786
IPC分类号 ：
H01L29/786 H01L29/24 H01L27/12 H01L21/34
法律状态
2022-04-22 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : H01L 29/786
申请日 : 20211228
申请日 : 20211228
2022-04-05 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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