本发明涉及硅烷的生产技术领域,特别是一种硅烷的生产工艺及其生产系统，包括S1：预加热，S2：催化裂解，S3：除固，S4：除氢，S5：除硅烷，S6：获得乙硅烷，S7：获得丙硅烷的步骤。通过依次连通设置的预热器、反应器、过滤器、第一精馏塔、第二精馏塔、第三精馏塔以及第四精馏塔，所述预热器具有进气管和出气管，所述过滤器的进气端与出气管连接，所述第一精馏塔的进料端与过滤器的出气端连接，所述第二精馏塔的进料端与第一精馏塔的出料端连接，第三精馏塔的进料端与第二精馏塔的出料端连接，第四精馏塔的进料端与第三精馏塔的出料端连接，其中，所述第一精馏塔、第二精馏塔、第三精馏塔以及第四精馏塔的塔顶均设置副出料端，完成工艺，提供了一种硅烷的生产工艺及其生产系统，简单合理，控制方便，且反应获得的高阶硅烷纯度更高。