一种含有α-Al2O3<...
实质审查的生效
摘要
本发明涉及一种含有α‑Al2O3涂层的高密度C/C‑SiC复合材料坩埚,属于单晶硅拉制炉用热场部件技术领域。所述复合材料坩埚包括坩埚本体以及涂覆在坩埚本体内表面的α‑Al2O3涂层,坩埚本体是通过CVI工艺、树脂浸渍炭化工艺以及反应熔渗工艺依次对炭纤维预制体进行热解炭、树脂炭以及碳化硅增密处理获得的C/C‑SiC复合材料,炭纤维预制体的体积密度为0.3g/cm3~0.5g/cm3,热解炭增密至1.0g/cm3~1.2g/cm3,树脂炭增密至1.4g/cm3~1.6g/cm3,碳化硅增密至1.8g/cm3~2.0g/cm3。所述复合材料坩埚既具有支撑作用又可保证熔融硅纯度,避免石英坩埚的使用,而且复合材料坩埚的使用寿命显著提高,有效降低单晶硅拉制成本,解决了现有技术中必须同时使用石英坩埚和炭/炭复合材料坩埚拉制单晶硅所带来的问题。
基本信息
专利标题 :
一种含有α-Al2O3涂层的高密度C/C-SiC复合材料坩埚
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114455971A
申请号 :
CN202111658844.1
公开(公告)日 :
2022-05-10
申请日 :
2021-12-30
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
程皓张永辉白鸽郁荣候雯菲程凯峰康媛媛
申请人 :
西安超码科技有限公司
申请人地址 :
陕西省西安市高新区锦业一路56号研祥城市广场B座23层2322室
代理机构 :
北京理工大学专利中心
代理人 :
付雷杰
优先权 :
CN202111658844.1
主分类号 :
C04B35/83
IPC分类号 :
C04B35/83 C04B35/84 C04B35/622 C04B41/87
IPC结构图谱
C
C部——化学;冶金
C04
水泥;混凝土;人造石;陶瓷;耐火材料
C04B
石灰;氧化镁;矿渣;水泥;其组合物,例如:砂浆、混凝土或类似的建筑材料;人造石;陶瓷;耐火材料;天然石的处理
C04B35/00
以成分为特征的陶瓷成型制品;陶瓷组合物;准备制造陶瓷制品的无机化合物的加工粉末
C04B35/71
含有宏观增强剂的陶瓷制品
C04B35/78
含非金属材料的
C04B35/80
纤维、单丝、晶须、薄片或其他类似材料
C04B35/83
碳基质中的碳纤维
法律状态
2022-05-27 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : C04B 35/83
申请日 : 20211230
申请日 : 20211230
2022-05-10 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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