一种抛光头和抛光设备
实质审查的生效
摘要
本发明实施例公开了一种抛光头和抛光设备，所述抛光头包括：头部主体；连接至所述头部主体的下表面的橡胶垫，所述橡胶垫设置成能够基于来自所述头部主体的工作压力产生朝向下方的弹性变形；位于所述橡胶垫与待抛光的硅片之间的模具垫，所述模具垫的上表面的形状设置成使得当所述抛光头对所述硅片进行抛光时，所述模具垫的上表面能够适配所述橡胶垫的所述弹性变形，以使所述硅片的上表面承受的工作压力是均匀的。
基本信息
专利标题 ：
一种抛光头和抛光设备
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114260820A
申请号 ：
CN202111660083.3
公开（公告）日 ：
2022-04-01
申请日 ：
2021-12-30
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
白宗权陈祖庆许涛
申请人 ：
西安奕斯伟材料科技有限公司;西安奕斯伟硅片技术有限公司
申请人地址 ：
陕西省西安市高新区西沣南路1888号1-3-029室
代理机构 ：
西安维英格知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
李斌栋
优先权 ：
CN202111660083.3
主分类号 ：
B24B37/11
IPC分类号 ：
B24B37/11 B24B37/34 B24B37/005 B24B49/16
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B24
磨削；抛光
B24B
用于磨削或抛光的机床、装置或工艺（用电蚀入B23H；磨料或有关喷射入B24C；电解浸蚀或电解抛光入C25F3/00；磨具磨损表面的修理或调节；磨削，抛光剂或研磨剂的进给
B24B37/00
研磨机床或装置；附件
B24B37/11
研具
法律状态
2022-04-19 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : B24B 37/11
申请日 : 20211230
申请日 : 20211230
2022-04-01 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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