一种模板钝化的工艺
实质审查的生效
摘要
本申请属于纳米压印技术领域，尤其涉及一种模板钝化的工艺。本申请提供了一种模板的钝化工艺，包括以下步骤：将模板放置在钝化装置内，对所述钝化装置持续通入气化氟代氯硅烷，对所述模板进行钝化反应，得到钝化后的模板；其中，所述氟代氯硅烷的气体流速为1μL/min～5μL/min。其中，可通过等温控制氟代氯硅烷气体流速的方式，在钝化腔中的气化的氟代氯硅烷可持续稳定对模板进行适度的钝化，使得模板表面钝化均匀和致密。本申请提供了一种模板钝化的工艺，有效解决现有钝化过程中存在的模板表面钝化的不均匀和不致密的技术问题。
基本信息
专利标题 ：
一种模板钝化的工艺
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114261039A
申请号 ：
CN202111661979.3
公开（公告）日 ：
2022-04-01
申请日 ：
2021-12-30
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
李鹏飞杜有成何益多李晓军
申请人 ：
广东粤港澳大湾区国家纳米科技创新研究院
申请人地址 ：
广东省广州市黄埔区开源大道136号D栋201室
代理机构 ：
北京集佳知识产权代理有限公司
代理人 ：
彭祯奇
优先权 ：
CN202111661979.3
主分类号 ：
B29C33/38
IPC分类号 ：
B29C33/38 G03F7/00
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B29
塑料的加工；一般处于塑性状态物质的加工
B29C
塑料的成型连接；塑性状态材或料的成型，不包含在其他类目中的；已成型产品的后处理，例如修整
B29C33/00
模型或型芯；其零件或所用的附件
B29C33/38
以材料或制造工艺为特征的
法律状态
2022-04-19 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : B29C 33/38
申请日 : 20211230
申请日 : 20211230
2022-04-01 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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