钝化接触电池及其制备工艺
实质审查的生效
摘要
一种钝化接触电池及其制备工艺，属于太阳能电池领域。钝化接触电池的制备工艺，其背面场钝化结构的制备包括：在硅片的背面生长隧穿氧化层；在隧穿氧化层的表面生长本征碳化硅层；在本征碳化硅层表面生长磷掺杂碳化硅层；以及退火处理，以使磷掺杂碳化硅层中的磷与碳化硅形成共价键。钝化接触电池能够通过上述制备工艺制得，其包括硅片，以及在所述硅片的背面依次层叠的隧穿氧化层、本征碳化硅层和磷掺杂碳化硅层。该制备工艺和电池能有效缓解PECVD沉积得到的背面场钝化结构爆膜严重的问题；还能提高背面耐银浆腐蚀能力，从而减少金属刺穿现象，降低金属复合。
基本信息
专利标题 ：
钝化接触电池及其制备工艺
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114520276A
申请号 ：
CN202210141493.5
公开（公告）日 ：
2022-05-20
申请日 ：
2022-02-16
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
陈浩吴伟梁徐文州孟夏杰姚骞王秀鹏邢国强
申请人 ：
通威太阳能（眉山）有限公司
申请人地址 ：
四川省眉山市东坡区修文镇进修路8号附1号
代理机构 ：
北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙)
代理人 ：
彭月
优先权 ：
CN202210141493.5
主分类号 ：
H01L31/18
IPC分类号 ：
H01L31/18 H01L31/0216 H01L31/068
法律状态
2022-06-07 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : H01L 31/18
申请日 : 20220216
申请日 : 20220216
2022-05-20 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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