一种钝化接触电池的制备方法
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摘要
本发明公开了一种钝化接触电池的制备方法,包括如下步骤:1)选取硅片;2)制绒;3)制正面发射极;4)去除表面氧化物;5)制超薄氧化层;6)局部沉积重掺杂非晶硅;7)非晶硅退火;8)背面刻蚀和抛光;9)制背面掺杂层;10)去除表面氧化物;11)制正面和背面钝化层;12)制正面和背面金属电极。本发明通过激光转印在硅片正面直接局部沉积重掺杂非晶硅,进而实现钝化电池正面金属接触区域;本发明仅在金属接触区域沉积重掺杂非晶硅,可省去去除金属接触区域外掺杂非晶硅的步骤,也可省去在金属接触区域制备掩膜的步骤,进而可避免因采用掩膜腐蚀法而出现金属接触区域外非晶硅去除不干净以及金属接触区域外绒面被破坏的问题。
基本信息
专利标题 :
一种钝化接触电池的制备方法
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN111987188A
申请号 :
CN202010861129.7
公开(公告)日 :
2020-11-24
申请日 :
2020-08-25
授权号 :
CN111987188B
授权日 :
2022-04-08
发明人 :
沈梦超符黎明
申请人 :
常州时创能源股份有限公司
申请人地址 :
江苏省常州市溧阳市溧城镇吴潭渡路8号
代理机构 :
代理人 :
优先权 :
CN202010861129.7
主分类号 :
H01L31/18
IPC分类号 :
H01L31/18 H01L21/203 H01L31/0216 H01L31/0288
法律状态
2022-04-08 :
授权
2020-12-11 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : H01L 31/18
申请日 : 20200825
申请日 : 20200825
2020-11-24 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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