动能辅助激光诱导等离子体加工装置及方法
实质审查的生效
摘要
本发明公开了动能辅助激光诱导等离子体加工装置及方法,加工装置包括激光器、透镜组件、工作台、夹具、金属靶材和驱动器;该夹具和驱动器装设在工作台上,该金属靶材安装在驱动器上且通过驱动器带动金属靶材绕自身轴线转动;该透明工件装接在夹具上且透明工件间隔位于金属靶材之上;该激光器产生的激光束经透镜组件、透明工件聚焦在绕自身轴线转动之金属靶材偏心位置且与金属靶材发生相互作用,通过相互作用产生的等离子体向透明工件背面转移以刻蚀加工透明工件。它具有如下优点:利于材料去除,有效提高材料去除率。
基本信息
专利标题 :
动能辅助激光诱导等离子体加工装置及方法
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114311356A
申请号 :
CN202111678478.6
公开(公告)日 :
2022-04-12
申请日 :
2021-12-31
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
姜峰陈嘉林卢希钊温秋玲陆静江安娜
申请人 :
华侨大学
申请人地址 :
福建省泉州市丰泽区城东城华北路269号
代理机构 :
厦门市首创君合专利事务所有限公司
代理人 :
张松亭
优先权 :
CN202111678478.6
主分类号 :
B28D7/00
IPC分类号 :
B28D7/00 H05H1/24
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B28
加工水泥、黏土或石料
B28D
加工石头或类似石头的材料
B28D7/00
专门适用于与本小类其他各组的机械或其装置一起使用的附件
法律状态
2022-04-29 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : B28D 7/00
申请日 : 20211231
申请日 : 20211231
2022-04-12 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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