本发明公开了复合能量场辅助激光诱导等离子体加工装置及方法，加工装置包括激光器、透镜组件和工作台装置；工作台装置包括安装工作台、磁场辅助装置、振动工作台、驱动器和金属靶材；通过振动工作台带动透明工件一维振动，驱动器带动金属靶材绕自身轴线转动，透明工件和金属靶材上下平隔布置；激光器产生的激光束经透镜组件、透明工件聚焦在金属靶材偏心位置且与金属靶材发生相互作用，通过相互作用产生的等离子体向透明工件背面转移以刻蚀加工透明工件，等离子体受磁场辅助装置产生的磁场、透明工件的一维振动和金属靶材的转动的作用。它具有如下优点：能加工透明硬脆材料且达微纳米高精密加工需求。