本发明公开了利用双金属合金靶材激光诱导等离子体加工装置及方法，加工装置包括激光器、透镜组件、双金属合金靶材、工作台和可升降夹具；该透明工件和双金属合金靶材上下平隔布置；该激光器发出的激光束经透镜组件、透明工件辐射聚焦在双金属合金靶材上并与双金属合金靶材发生相互作用以产生等离子体，该双金属合金靶材包含惰性金属和活性金属，惰性金属对应的等离子体通过物理过程对透明工件材料进行刻蚀加工，活性金属对应的等离子体通过物理过程和化学反应对透明工件材料进行刻蚀加工。它具有如下优点：在微纳制造领域应用前景巨大，能实现工业上高精密加工质量需求，能解决透明硬脆材料异形工件加工难题。