一种石墨舟片及石墨舟
授权
摘要
本实用新型公开一种石墨舟片及石墨舟，该石墨舟片包括石墨舟片本体以及设置在石墨舟片本体上的卡轴组合；石墨舟片本体上具有至少一个硅片放置区，硅片放置区具有顺次连接的第一边缘、第二边缘、第三边缘和第四边缘；卡轴组合包括设置在第一边缘的第一卡轴，设置在第三边缘的第二卡轴，以及设置在第二边缘的第三卡轴；第一卡轴的外端面为圆形，第二卡轴的外端面为三角形，第三卡轴的外端面为圆形或者三角形硅片放置区，该石墨舟片通过优化位于其上的卡轴组合中圆形卡轴及三角形卡轴的布置方式，从而减小卡轴对硅片的遮挡面积而减小背膜镀膜漏镀面积，以及减小EL发黑概率，提高硅片镀膜质量。
基本信息
专利标题 ：
一种石墨舟片及石墨舟
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202120899670.7
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-04-28
授权号 ：
CN216213300U
授权日 ：
2022-04-05
发明人 ：
张福庆王贵梅王盼
申请人 ：
晶澳太阳能有限公司
申请人地址 ：
河北省邢台市宁晋县晶龙大街
代理机构 ：
北京市万慧达律师事务所
代理人 ：
陈怡
优先权 ：
CN202120899670.7
主分类号 ：
H01L21/673
IPC分类号 ：
H01L21/673 H01L31/18
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21/673
使用专用的载体的
法律状态
2022-04-05 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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