一种镀膜机
授权
摘要
一种镀膜机，其特征在于：包括真空室、基片架、镀前清洗机、AF前清洗机，所述真空室内设置有旋转平台，所述真空室绕圆周均匀设置有真空镀膜腔，所述真空室为高1.8m、直径3m的圆心结构，使得真空室体积处于6‑18m3之间。所述真空室为圆形立柱，内部下端安装有360°旋转轨道，所述轨道上设置有旋转轴承，所述旋转轴承下方设置有轴承电机，所述轴承电机与所述旋转轴承控制连接，所述真空室上端设置有传输轨道，所述传输轨道根据设备镀膜腔数量对应分为若干链接点，所述链接点上均设置有光电感应器，本发明为一种高适应性、高效率、高质量的新型镀膜机。
基本信息
专利标题 ：
一种镀膜机
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202121099027.2
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-05-21
授权号 ：
CN216337924U
授权日 ：
2022-04-19
发明人 ：
李俊华王文丁家昌艾其波
申请人 ：
安徽亦高光电科技有限责任公司
申请人地址 ：
安徽省六安市舒城县杭埠镇经济开发区杭埠园区产投产业园D3幢（香樟大道与石兰路交叉口）
代理机构 ：
南昌恒桥知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
杨志宇
优先权 ：
CN202121099027.2
主分类号 ：
C23C14/35
IPC分类号 ：
C23C14/35 C23C14/56 C23C14/50
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/34
溅射
C23C14/35
利用磁场的，例如磁控溅射
法律状态
2022-04-19 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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