本发明公开了一种新型可调腔室温度的物理气相镀膜设备，其技术方案要点是：包括镀膜室，镀膜室内固定有用于放置待镀晶圆的阳极板和用于固定靶材的阴极板，阳极板和阴极板之间形成有镀膜区域，阳极板内开设有凹槽，凹槽处固定有进气管，进气管的一端位于镀膜室外部，进气管端部拆卸连接有通气管，镀膜室的外部固定有真空泵，真空泵的吸气口通过抽气管伸入至镀膜室内部，镀膜室的内壁上固定有固定环罩，固定环罩内设置有螺旋水路，螺旋水路上连通固定有第一管路，第一管路端部固定有第二管路；本新型可调腔室温度的物理气相镀膜设备可方便的实现对镀膜室的均匀温控以及对镀膜室的压控，能够便于进行生产控制。