化学气相沉积镀膜机的钩子

专利权的终止

摘要

一种化学气相沉积镀膜机的钩子，具有主体和两脚，所述主体具有二竖杆和处于二竖杆顶端上的横杆，两竖杆下端各设有与主体处于同一平面内的横平脚。本实用新型的结构非常简单，可以仅用一根金属丝四折而成，加工特方便。由于本实用新型所提出的钩子是横平的，衬底搁置在本钩子上，衬底与钩子之间形成线接触，衬底上源物质气体的沉积受到阻挡的面积明显减小。

基本信息

专利标题：

化学气相沉积镀膜机的钩子

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN200720194930.0

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2007-11-13

授权号：

CN201132851Y

授权日：

2008-10-15

发明人：

汪钉崇王仁杰张军

申请人：

常州天合光能有限公司

申请人地址：

213031江苏省常州市新北区电子园新苑一路2号

代理机构：

代理人：

优先权：

CN200720194930.0

主分类号：

C23C16/00

IPC分类号：

C23C16/00 C23C16/34

IPC结构图谱

C部——化学；冶金

C23

对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制

C23C

对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆

C23C16/00

通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积工艺

法律状态

2014-12-31 ：

专利权的终止

未缴年费专利权终止号牌文件类型代码 : 1605
号牌文件序号 : 101594316350
IPC(主分类) : C23C 16/00
专利号 : ZL2007201949300
申请日 : 20071113
授权公告日 : 20081015
终止日期 : 20131113

2008-10-15 ：

授权

注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。

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