一种快速匹配的射频装置
授权
摘要
本实用新型公开了一种快速匹配的射频装置,连接在陶瓷杯的射频线圈上,包括继电器、电容电路及RF射频接头,所述RF射频接头连接电容电路,电容电路连接射频线圈,且电容电路和射频线圈共同构成“L”型射频谐振电路,继电器控制电容电路与射频线圈之间的通断,本实用新型相较于传统的自动匹配器,该装置体积小、可安装较强、成本低、可靠性高。
基本信息
专利标题 :
一种快速匹配的射频装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202122245198.8
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2021-09-16
授权号 :
CN216162703U
授权日 :
2022-04-01
发明人 :
张勇军卢成王伟
申请人 :
成都国泰真空设备有限公司
申请人地址 :
四川省成都市温江区成都海峡两岸科技产业开发园科林西路618号
代理机构 :
成都其高专利代理事务所(特殊普通合伙)
代理人 :
廖曾
优先权 :
CN202122245198.8
主分类号 :
H04B1/04
IPC分类号 :
H04B1/04
法律状态
2022-04-01 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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