一种设有匹配器的射频功率源装置
授权
摘要

本申请实施例提供一种设有匹配器的射频功率源装置,涉及射频技术领域。该设有匹配器的射频功率源装置包括射频源和匹配器,所述匹配器用于将所述射频源发送的射频信号加载至负载终端;所述匹配器包括输入端、输出端、第一可变电容、电感、第一步进电机、第二可变电容和第二步进电机。该设有匹配器的射频功率源装置通过将负载阻抗匹配至设有匹配器的射频功率源装置的标准阻抗,从而实现提高射频信号的能量传输效率,降低射频功率源被烧毁的可能性。

基本信息
专利标题 :
一种设有匹配器的射频功率源装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN201921568241.0
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2019-09-20
授权号 :
CN210640808U
授权日 :
2020-05-29
发明人 :
王彦斌李俊宏王超
申请人 :
成都沃特塞恩电子技术有限公司
申请人地址 :
四川省中国(四川)自由贸易试验区成都高新区益州大道中段1800号3栋3层301号
代理机构 :
北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙)
代理人 :
罗硕
优先权 :
CN201921568241.0
主分类号 :
H02M1/32
IPC分类号 :
H02M1/32  H05K7/20  
法律状态
2020-05-29 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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