晶体表面检测装置
授权
摘要
本实用新型提供了一种晶体表面检测装置，包括：基座，所述基座的底面为平面，所述基座的侧面设有多个安装槽；多个千分表，所述千分表固定在所述安装槽内，所述千分表的测量头从所述基座的底面伸出，所述千分表的测量杆垂直于所述基座的底面。本实用新型能够对晶体的表面特征进行检测，提高检测精度和检测效率。
基本信息
专利标题 ：
晶体表面检测装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202122438124.6
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-10-12
授权号 ：
CN216558587U
授权日 ：
2022-05-17
发明人 ：
陈桥玉
申请人 ：
甘肃旭晶新材料有限公司;东旭科技集团有限公司
申请人地址 ：
甘肃省酒泉市肃州区经济技术开发区（西园）科研孵化园5号楼501
代理机构 ：
北京连和连知识产权代理有限公司
代理人 ：
刘小峰
优先权 ：
CN202122438124.6
主分类号 ：
G01B5/00
IPC分类号 ：
G01B5/00 G01B5/28 G01B5/24 G01B5/02
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01B
长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量
G01B5/00
以采用机械方法为特征的计量设备
法律状态
2022-05-17 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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