一种溅射靶材检测装置
授权
摘要
本实用新型公开了检测装置领域的一种溅射靶材检测装置，包括底板，底板的上端固定连接有固定板、第二轴承座和第三轴承座，第三轴承座的内部转动连接有间歇性运动装置，第二轴承座的内部转动连接有往复装置，底板的下端固定连接有动力装置，本实用新型结构简单，只需要简单操作就可以达到便于检测溅射靶材的目的。
基本信息
专利标题 ：
一种溅射靶材检测装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202122669597.7
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-11-03
授权号 ：
CN216246251U
授权日 ：
2022-04-08
发明人 ：
孔伟华
申请人 ：
江苏东玖光电科技有限公司
申请人地址 ：
江苏省徐州市睢宁县双沟镇空港经济开发区临空大道与安澜大道交叉口
代理机构 ：
南京佰腾智信知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
黄杭飞
优先权 ：
CN202122669597.7
主分类号 ：
G01B21/30
IPC分类号 ：
G01B21/30
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01B
长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量
G01B21/26
••用于检测轮子的准直度
G01B21/30
用于计量表面的粗糙度或不规则性
法律状态
2022-04-08 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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