一种曝光机的冷却系统
授权
摘要
本实用新型公开的属于曝光机冷却术领域，具体为一种曝光机的冷却系统，其包括：曝光机主体；冷却组件，包括冷却室、制冷管、第一连接管、水泵、第三连接管、导热杆和报警器，所述冷却室安装在曝光机主体的一侧，所述冷却室的内部一侧安装有制冷室，所述制冷室的内部安装有制冷管，所述制冷室的底端连接有第一连接管，所述第一连接管上安装有流量感应器，所述第一连接管的底端连接有水泵，所述水泵的一侧连接有第二连接管。该曝光机的冷却系统，能够更充分的利用冷却水的换热性能，在冷却水吸收热量达到一定程度后，再开启制冷管进行制冷，降低了制冷管的工作时间，有效降低能耗。
基本信息
专利标题 ：
一种曝光机的冷却系统
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202122686734.8
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-11-04
授权号 ：
CN216696981U
授权日 ：
2022-06-07
发明人 ：
付亚运
申请人 ：
梅州市杲江鸿科技有限公司
申请人地址 ：
广东省梅州市高新技术产业园区（东升生态工业园）
代理机构 ：
广州浩泰知识产权代理有限公司
代理人 ：
张金昂
优先权 ：
CN202122686734.8
主分类号 ：
G03F7/20
IPC分类号 ：
G03F7/20
IPC结构图谱
G
G部——物理
G03
摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术
G03F
图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备
G03F7/00
图纹面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工艺；图纹面照相制版用的材料，如：含光致抗蚀剂的材料；图纹面照相制版的专用设备
G03F7/20
曝光及其设备
法律状态
2022-06-07 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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