一种用于曝光光源的冷却系统
授权
摘要
本实用新型公开了一种用于曝光光源的冷却系统，包括壳体、液冷散热板、电路安装板和散热风扇；所述壳体内设有进风口和排风口；所述液冷散热板设置于所述壳体内，其内均匀布满有冷却流道，前部设有分别与所述冷却流道首尾相接的进液口和回液口，上部设有用于安装LED灯板的安装孔；所述电路安装板设置于所述液冷散热板的下部，用于安装电路模块；所述散热风扇设置于所述壳体内，用于提供负压，使得外界风能从所述进风口进入，并从排风口排出；本实用新型通过设有液冷散热板、电路安装板和散热风扇，LED灯板安装于液冷散热板的上部，电路安装板安装于液冷散热板的下部，通过冷却液的循环同时对灯板和电路进行热交换，具有散热性能好的优点。
基本信息
专利标题 ：
一种用于曝光光源的冷却系统
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202022250029.9
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-10-12
授权号 ：
CN213876308U
授权日 ：
2021-08-03
发明人 ：
胡存银吴志雄
申请人 ：
东莞康耐德智能控制有限公司
申请人地址 ：
广东省东莞市南城街道黄金路1号东莞天安数码城C2栋507
代理机构 ：
东莞市明诺知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
杨建荣
优先权 ：
CN202022250029.9
主分类号 ：
G03F7/20
IPC分类号 ：
G03F7/20
IPC结构图谱
G
G部——物理
G03
摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术
G03F
图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备
G03F7/00
图纹面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工艺；图纹面照相制版用的材料，如：含光致抗蚀剂的材料；图纹面照相制版的专用设备
G03F7/20
曝光及其设备
法律状态
2021-08-03 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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