一种用于LDI曝光的光源装置
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
摘要
本实用新型公开了一种用于LDI曝光的光源装置,包括聚光镜筒、半球状壳体和传输光纤,所述聚光镜筒设置有若干个,若干个所述聚光镜筒均设置在所述半球状壳体的表面上,所述聚光镜筒与所述半球状壳体连通,所述传输光纤的一端设置在所述半球状壳体的球心上;所述聚光镜筒包括透镜组和发光源,所述透镜组固定在所述半球状壳体上,所述发光源设置在所述半球状壳体的一侧;其中,所述透镜组出射口的轴线经过所述半球状壳体的球心。本实用新型可产生光束集中、发散角小、复合波长和高能量的光束,解决目前半导体激光器某些波段功率不足和价格昂贵的问题,且其结构简单,能源消耗低,制造成本低,性能稳定性较高。
基本信息
专利标题 :
一种用于LDI曝光的光源装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202020777045.0
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-05-12
授权号 :
CN211956122U
授权日 :
2020-11-17
发明人 :
陈志特王华吴中海冯明瑞
申请人 :
东莞科视自动化科技有限公司
申请人地址 :
广东省东莞市东城区主山振兴路333号(B幢一楼)
代理机构 :
东莞市中正知识产权事务所(普通合伙)
代理人 :
成伟
优先权 :
CN202020777045.0
主分类号 :
G03F7/20
IPC分类号 :
G03F7/20
IPC结构图谱
G
G部——物理
G03
摄影术;电影术;利用了光波以外其他波的类似技术;电记录术;全息摄影术
G03F
图纹面的照相制版工艺,例如,印刷工艺、半导体器件的加工工艺;其所用材料;其所用原版;其所用专用设备
G03F7/00
图纹面,例如,印刷表面的照相制版如光刻工艺;图纹面照相制版用的材料,如:含光致抗蚀剂的材料;图纹面照相制版的专用设备
G03F7/20
曝光及其设备
法律状态
2021-03-12 :
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
IPC(主分类) : G03F 7/20
变更事项 : 专利权人
变更前 : 东莞科视自动化科技有限公司
变更后 : 广东科视光学技术股份有限公司
变更事项 : 地址
变更前 : 523000 广东省东莞市东城区主山振兴路333号(B幢一楼)
变更后 : 523000 广东省东莞市东城区主山振兴路333号(B幢一楼)
变更事项 : 专利权人
变更前 : 东莞科视自动化科技有限公司
变更后 : 广东科视光学技术股份有限公司
变更事项 : 地址
变更前 : 523000 广东省东莞市东城区主山振兴路333号(B幢一楼)
变更后 : 523000 广东省东莞市东城区主山振兴路333号(B幢一楼)
2020-11-17 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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