一种用于曝光光源的控制系统
授权
摘要
本实用新型公开了一种用于曝光光源的控制系统,包括光源模块、多路控制模块、主控板、数模转换模块和前端面板;所述光源模块包括至少一个灯板及安装于所述灯板上的至少一个灯体单元;所述灯板上设有与各个所述灯体单元电连接的温度传感器;所述灯体单元包括呈矩阵式分布的多个LED灯珠;所述多路控制模块与所述灯板对应设置,每个所述多路控制模块上设有与所述灯体单元对应电连接的单元控制通道;所述主控板与所述多路控制模块电连接;所述数模转换模块与所述主控板电连接;所述前端面板与所述数模转换模块电连接;通过采用多通道智能恒流控制的方式对光源模块进行控制,能够有效监控以及控制光源,不需深入设备内部进行检测,调节便捷。
基本信息
专利标题 :
一种用于曝光光源的控制系统
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202022250220.3
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-10-12
授权号 :
CN213517876U
授权日 :
2021-06-22
发明人 :
胡存银吴志雄
申请人 :
东莞康耐德智能控制有限公司
申请人地址 :
广东省东莞市南城街道黄金路1号东莞天安数码城C2栋507
代理机构 :
东莞市明诺知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 :
杨建荣
优先权 :
CN202022250220.3
主分类号 :
G03F7/20
IPC分类号 :
G03F7/20 H05B45/10
IPC结构图谱
G
G部——物理
G03
摄影术;电影术;利用了光波以外其他波的类似技术;电记录术;全息摄影术
G03F
图纹面的照相制版工艺,例如,印刷工艺、半导体器件的加工工艺;其所用材料;其所用原版;其所用专用设备
G03F7/00
图纹面,例如,印刷表面的照相制版如光刻工艺;图纹面照相制版用的材料,如:含光致抗蚀剂的材料;图纹面照相制版的专用设备
G03F7/20
曝光及其设备
法律状态
2021-06-22 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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